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杏彩体育:飞创高性能直线电机模组 纳米级精密运动控制

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  发挥重要作用。直线模组可以通过各个单元的组合实现负载的直线、曲线运动。由于其具有精度高、刚性高、体积小、重量轻、节省空间等优势,近年来被越来越广泛地应用于液晶面板、

  超长行程、超高速度、超高精度、超重负载以及速度平稳的特点。全系列采用高精度光栅和磁栅反馈,集成了高精度、高速度直线导轨和大推力高性能直线电机。FCL直线电机模组的最大行程可达60m,最大负载500kg,重复定位精度±0.002mm,最大速度10m/s,能够满足LDI设备制备、高端芯片以及半导体设备制造中后道工艺制程设备等制造过程中对精密运动控制的需求。飞创高性能直线电机模组直线模组作为高精密自动化设备的重要传动元件,在

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